Участники российского рынка тонкопленочных покрытий. Детализация по компании

Центр вакуумной комплектации, ООО

Адрес: 124460, г. Москва, Зеленоград, корп. 1208-55
Телефоны: 8-495-988-98-64, 8-499-995-08-38, 8-910-402-5263, 8-916-688-2284

info@zcvc, geoukr@mail.ru

Группа компания "Вакуумпром-МЭШ+-ЦВК" разрабатывает технологическое вакуумное оборудование для нанесения покрытий тремя способами - магнетронным, дуговым и электронно-лучевым способами.

НИОКР

Установка вакуумного напыления УВН-74П-3 для отработки технологи напыления пленочных элементов
Производительность установки:
- для ситалловых подложек размером 60*48*0,6мм 40 шт/цикл
- для поликоровых подложек размером 30*24*0,6мм 160 шт./цикл
Предельный вакуум в рабочей камере 5*10(-7)мм рт.ст.
Время достижения рабочего вакуума с момента закрытия высоковакуумного затвора 60 мин
Размеры рабочей камеры ю700*550 мм
Диапазон температур нагрева подложек 100-300 градусов С
Количество резистивных испарителей 1 шт.
Максимальная мощность резистивного испарителя 2кВт
Количество электронных испарителей с кольцевым катодом 2 шт.
Максимальная мощность электронного испарителя 2,5кВт
Скорость вращения барабана 30об/мин
Ток ионной очистки 150ма
Максимальная толщина наносимого слоя:
- меди 10мкм
- алюминия 7мкм
Максимальная скорость осаждения меди и алюминия 3мкм/мин
Расход воды температурой 15+10 гр. и давлением 2-4ат. 600+50л/час
Расход воды температурой 85+5 гр. и давлением 2-5ат. 200+50л/час
Давление сжатого воздуха 3-5ат
Максимальная потребляемая мощность 15ква
Габаритные размеры:
- установки 1500*2710*2150
- шкафа управления 950*600*1750
Масса установки:
- установки 1250кг
- шкафа управления 450кг

Энергетика, Нефтегазовая отрасль, Авиастроение, Автомобилестроение, Микроэлектроника, Инструментальная промышленность, Прочее